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2005.04 睿励揭牌
2005.06.19 睿励科学仪器(上海)有限公司正式成立
2005.10 公司入驻金桥园区标准厂房
2008.03 公司TFX1000送150mm集成电路生产线
2009.01 公司迁入张江高科技园区
2011.05.18 公司TFX3000送300mm集成电路生产线