• 2005.04        睿励揭牌

  • 2005.06.19     睿励科学仪器(上海)有限公司正式成立

  • 2005.10        公司入驻金桥园区标准厂房

  • 2008.03        公司TFX1000送150mm集成电路生产线

  • 2009.01        公司迁入张江高科技园区

  • 2011.05.18     公司TFX3000送300mm集成电路生产线