睿励自主研发的新一代光学膜厚量测设备(TFX4000i) 正式交付国内重要客户
2021年6月20日,睿励科学仪器(上海)有限公司自主研发的第三代光学膜厚量测设备TFX4000i正式交付客户,该款设备是一款优秀的应用于大规模集成电路前道生产线的量测设备,该设备继承了公司二代产品TFX3000P的全部优越性能,在功能上更...
睿励首台自主研发的光学缺陷检测设备出货
2021年4月18日,睿励首台自主研发的高精度光学缺陷检测设备(WSD200)装箱出货,交付国内知名客户,这是睿励研发的光学缺陷检测设备进入集成电路晶圆缺陷检测市场的重大突破。       随着集成电路制造工艺不断提升,集成电路前道工艺检测...
转载:重磅!睿励科学仪器获中微新一轮1亿元战略投资!
转载:重磅!睿励科学仪器获中微新一轮1亿元战略投资此文章转自:浦东科创集团 张通社 张通社 zhangtongshe.com|张江高新区科技通讯社|张通社3月1日晚间获悉,近日中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“中微”)完成对睿励...
睿励300mm芯片生产线光学薄膜量测设备TFX3000P再次出货!
2020年12月28日,睿励自主研发生产的用于集成电路300mm芯片生产线的光学薄膜量测设备TFX3000P再次装箱出货,这也是9月份以来出货的第三台光学膜厚测量设备。同月,睿励首台用于集成电路制造高分辨率缺陷检测设备也完成出货并交付客户。...