关于我们

睿励科学仪器(上海)有限公司是于2005年创建的合资公司,致力于研发、生产和销售具有自主知识产权的集成电路生产制造工艺装备产业中的工艺检测设备。

公司的产品填补国家重大产业链中的重要空白,自列入了2005年上海市科教兴市重大产业科技攻关项目起,,得到了政府和业界的大力支持和高度关注。

公司将通过不断吸收和培养人才,建立和发展业界一流的具有自主创新能力的企业和团队,达到并持续保持在国际及国内相应产业和市场的领先地位。

新闻资讯


睿励自主研发的新一代光学膜厚量测设备(TFX4000i) 正式交付国内重要客户
2021-07-09
2021年6月20日,睿励科学仪器(上海)有限公司自主研发的第三代光学膜厚量测设备TFX4000i正式交付客户,该款设备…
睿励首台自主研发的光学缺陷检测设备出货
2021-04-18
2021年4月18日,睿励首台自主研发的高精度光学缺陷检测设备(WSD200)装箱出货,交付国内知名客户,这是睿励研发的…
转载:重磅!睿励科学仪器获中微新一轮1亿元战略投资!
2021-03-03
转载:重磅!睿励科学仪器获中微新一轮1亿元战略投资此文章转自:浦东科创集团 张通社 张通社 zhangtongshe.c…