睿励2020年首台300mm光学薄膜量测设备出货

 2020年2月28日,睿励自主研发生产的集成电路芯片生产线用光学薄膜量测设备TFX3000P再次装箱出厂。这是2019年10月完成融资后的首台出货,标志着睿励的发展开启了新的篇章。


睿励2020年首台300mm光学薄膜量测设备出货

  

TFX3000P是睿励科学仪器(上海)有限公司基于国际集成电路工艺检测设备产业发展路线推出的具有完全自主知识产权的光学薄膜量测设备,在性能指标上达到了国际厂商同类设备的水平,已在国际和国内主要300mm生产线上使用。这次被又一个国内领先的300mm芯片生产企业采购,标志着睿励在向高端集成电路工艺检测设备国产化的道路上迈进了重要的一步。

随着集成电路生产工艺不断进步和产业大环境的变化,睿励将继续加大研发力度,进一步丰富产品功能,提升产品竞争力,为国际国内客户提供最优的光学薄膜量测设备。