睿励首台自主研发的光学缺陷检测设备出货

2021年4月18日,睿励首台自主研发的高精度光学缺陷检测设备(WSD200)装箱出货,交付国内知名客户,这是睿励研发的光学缺陷检测设备进入集成电路晶圆缺陷检测市场的重大突破。

睿励首台自主研发的光学缺陷检测设备出货       随着集成电路制造工艺不断提升,集成电路前道工艺检测设备地位愈发重要。睿励自主研发的光学缺陷检测设备WSD200采用行业通用的检测方式,可以快速高效地检出图形晶圆上的缺陷,进行分类,为工艺过程控制提供关键数据。该设备的研发成功引起许多客户的兴趣与关注。

睿励首台自主研发的光学缺陷检测设备出货

同时,与该设备同期开发的、适用于300mm晶圆的光学缺陷检测设备WSD300,以及适用150mm以下的WSD150也在顺利推进。除了IC芯片工艺,WSD系列还可应用于化合物半导体及其MicroLED等工艺过程的缺陷检测,形成缺陷检测系列产品,有着宽广的可服务市场,可为集成电路前道工艺缺陷检测设备国产替代贡献更多力量。