睿励自主研发的新一代光学膜厚量测设备(TFX4000i) 正式交付国内重要客户

2021年6月20日,睿励科学仪器(上海)有限公司自主研发的第三代光学膜厚量测设备TFX4000i正式交付客户,该款设备是一款优秀的应用于大规模集成电路前道生产线的量测设备,该设备继承了公司二代产品TFX3000P的全部优越性能,在功能上更加丰富、完善,应用上更加广泛。

睿励自主研发的新一代光学膜厚量测设备(TFX4000i) 正式交付国内重要客户

相对于早已实现批量生产的TFX3000P,TFX4000i延续使用了与TFX3000P相同的主框架及软件架构,最大程度保持了二代产品的优良测量性能和可靠性,同时TFX4000i新增加了反射测量模块和深紫外测量模块,具有更宽的光谱范围,涵盖了更广泛的工艺段应用,可以满足更先进的工艺要求。

TFX4000i的交付,标志着睿励在集成电路前道检测领域的核心竞争力得到了大幅提高,睿励的光学量测设备在配置、功能以及整体性能等方面赶上了国际一流设备。这是睿励在努力发展成为国内领先的高端集成电路工艺检测设备供应商道路上迈出的重要一步。