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TFX3000--300mm全自动光学膜厚测量系统

TFX3000--300mm全自动精密薄膜测量系统是睿励科学仪器(上海)有限公司自主研发和生产的具有完全自主知识产权的集成电路生产线工艺检测设备。本产品的应用范围包括刻蚀(Etch)、化学气相沉积(CVD)、光刻(Photolithography)和化学机械抛光(CMP)等工艺段的测量,能准确的确定半导体制造工艺中的各种薄膜参数和细微变化(如膜厚、折射率、应力等)。


TFX3000--300mm全自动光学膜厚测量系统