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TFX3000 OCD--300mm全自动光学关键尺寸和形貌测量系统

  TFX3000 OCD是睿励科学仪器(上海)有限公司自主创新开发,具有自主知识产权的集成电路生产线300mm硅片全自动光学关键尺寸(OCD)和形貌测量系统。其在TFX3000系统基础上集成光学关键尺寸测量模块,除具有300mm全自动光学膜厚测量能力外,还可以进行显影后检查(ADI)、刻蚀后检查(AEI)等多种工艺段的二维或三维样品的线宽、侧壁角度(SWA)、高度/深度等关键尺寸(CD)特征或整体形貌测量。可测量二维多晶硅栅极刻蚀(PO)、隔离槽(STI)、隔离层(Spacer)、双重曝光(Double Patterning)或三维连接孔(VIA)、鳍式场效应晶体管(FinFET)、闪存(NAND)等多种样品。具有高速、准确和非破坏性等特点。


TFX3000 OCD--300mm全自动光学关键尺寸和形貌测量系统