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FSD100e--专为LED市场开发生产的自动光学检测设备……

FSD100e是睿励微电子设备(上海)有限公司专为LED市场开发生产的自动光学检测设备(AOI),适用于蓝宝石衬底、图形衬底、外延片和芯片等各种工艺。该系统具有高分辨率、高速、高性价比的特点,并能根据检测结果进行自动分拣。既能为LED生产厂商提高生产效率,又可为进行全面良率管理提供数据。FSD100e正在市场上推广,已受到客户的肯定和好评。
 
FSD100e系统主要特点:
 
·     低持有成本、高稳定性和高可靠性的设计
·     两吋及四吋蓝宝石衬底通用
·     特别适用于PSS检测   
·     同时检测微观及宏观缺陷
·     全表面检测、自动缺陷分类、自动存储缺陷图像
·     高分辨率的缺陷复查功能
·     根据检测结果自动分拣,提高生产效率
·     为管理工艺漂移提供有效手段,为良率管理提供数据
·     支持工厂自动数据传递


FSD100e--专为LED市场开发生产的自动光学检测设备……