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FSD150e & FSD150i

FSD150e & FSD150i是睿励科学仪器(上海)有限公司专为LED市场开发生产的全自动光学检测设备(AOI),适用于蓝宝石图形衬底(PSS)晶圆生产工艺中的表面缺陷检测以及外延片检测。该系统具有高分辨率、高速、高性价比的特点,并能根据检测结果进行自动分拣。既能为LED生产厂商提高生产效率,又可为全面良率管理提供数据。FSD150e & FSD100i在国内市场已销售至数家客户并获得肯定和好评。
 
FSD150e & FSD150i系统主要特点:
 
·     低持有成本、高稳定性和高可靠性的设计
·     4吋及6吋晶圆通用
·     适用于PSS端检测 和外延片 
·     同时检测微观及宏观缺陷
·     全表面检测、自动缺陷分类、自动存储缺陷图像
·     高分辨率的缺陷复查功能
·     根据检测结果自动分拣,提高生产效率
·     为管理工艺漂移提供有效手段,为良率管理提供数据
·     支持工厂自动数据传递


FSD150e & FSD150i


FSD150e & FSD150i