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FSD150s

FSD150s是睿励科学仪器(上海)有限公司专为LED衬底抛光片外观缺陷检测开发生产的全自动光学检测设备(AOI),适用于蓝宝石衬底片(抛光片)表面缺陷检测。为LED衬底片厂家全面控制产品的出货品质及改善生产过程中良率。 

FSD150s系统主要特点:
 

·     低持有成本、高稳定性和高可靠性的设计
·     4吋及6吋晶圆通用
·     适用于衬底抛光片检测   

·     自主开发的划伤增强算法(EASI©RSIC)
·     同时检测微观及宏观缺陷
·     全表面检测、自动缺陷分类、自动存储缺陷图像
·     高分辨率的缺陷复查功能
·     根据检测结果自动分拣,提高生产效率
·     为管理工艺漂移提供有效手段,为良率管理提供数据
·     支持工厂自动数据传递

 

设备图片:


FSD150s


FSD150s