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FSD100c & 150c

FSD100c & 150c是睿励科学仪器(上海)有限公司专为LED、化合物半导体以及光通讯领域中的有图形晶圆(COW)的外观缺陷检测开发的AOI设备,该系统具有高分辨率、高速、高性价比的特点,可按照客户的晶圆尺寸,可定制适用于2寸、3寸、4寸、5寸及6寸有图形晶圆(Chip On Wafer)缺陷检测。为客户全面控制产品的出货品质控制及生产过程中良率改善。 
FSD150c系统主要特点:
 
·     低持有成本、高稳定性和高可靠性的设计
·     可按照客户需求匹配2寸,3寸、4寸、5寸及6寸晶圆
·     适用于芯片检测(COW)   
·     同时检测微观及宏观缺陷
·     全表面检测、自动缺陷分类、自动存储缺陷图像
·     高分辨率的缺陷复查功能
·     根据检测结果自动分拣,提高生产效率
·     为管理工艺漂移提供有效手段,为良率管理提供数据
·     支持工厂自动数据传递

 

设备图片:


FSD100c & 150c

FSD100c & 150c