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TFX3000P
TFX3000P是应用于12英寸大规模集成电路前端生产线上的薄膜厚度测量设备,该产品已成功销售给国内和国外知名众多集成电路制造公司。该系列设备具有高精度,高产能,高性价比的特点,设备稳定可靠,性能与国外同类设备相当,甚至部分领先。
TFX3000--300mm全自动光学膜厚测量系统
TFX3000--300mm全自动精密薄膜测量系统是睿励科学仪器(上海)有限公司自主研发和生产的具有完全自主知识产权的集成电路生产线工艺检测设备。本产品的应用范围包括刻蚀(Etch)、化学气相沉积(CVD)、光刻(Photolithography)和化学机械抛光(CMP)等工艺段的测量,能准确的确定...
TFX3200
TFX3200是应用于8英寸大规模集成电路前端生产线上的薄膜厚度测量设备,该产品具备与12英寸膜厚测量设备相同的测量性能和设备稳定性。与同类型其他设备相比,产能领先1倍以上,拥有极高的性价比。