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TFX3000 OCD--300mm全自动光学关键尺寸和形貌测量系统
TFX3000 OCD是睿励科学仪器(上海)有限公司自主创新开发,具有自主知识产权的集成电路生产线300mm硅片全自动光学关键尺寸(OCD)和形貌测量系统。其在TFX3000系统基础上集成光学关键尺寸测量模块,除具有300mm全自动光学膜厚测量能力外,还可以进行显影后检查(ADI)、刻蚀后检查(AE...