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FSD100c & 150c
FSD100c & 150c是睿励科学仪器(上海)有限公司专为LED、化合物半导体以及光通讯领域中的有图形晶圆(COW)的外观缺陷检测开发的AOI设备,该系统具有高分辨率、高速、高性价比的特点,可按照客户的晶圆尺寸,可定制适用于2寸、3寸、4寸、5寸及6寸有图形晶圆(Chip On Wafer)缺陷...
FSD150s
FSD150s是睿励科学仪器(上海)有限公司专为LED衬底抛光片外观缺陷检测开发生产的全自动光学检测设备(AOI),适用于蓝宝石衬底片(抛光片)表面缺陷检测。为LED衬底片厂家全面控制产品的出货品质及改善生产过程中良率。 
FSD150e & FSD150i
FSD150e & FSD150i是睿励科学仪器(上海)有限公司专为LED市场开发生产的全自动光学检测设备(AOI),适用于蓝宝石图形衬底(PSS)晶圆生产工艺中的表面缺陷检测以及外延片检测。该系统具有高分辨率、高速、高性价比的特点,并能根据检测结果进行自动分拣。既能为LED生产厂商提高生产效率,又...
FSD300--自动宏观缺陷检测系统,适用于300mm硅片……
FSD300自动宏观缺陷检测系统简介睿励微电子设备(上海)有限公司生产的自动宏观缺陷检测系统(FSD300),具有快速,准确,可靠和低成本等优点,可用于工艺及产品质量检测,从而提高硅片制造的良率和品质。
FSD200µ--自动宏观缺陷检测系统,适用于200mm硅片……
FSD200µ自动宏观缺陷检测系统简介睿励微电子设备(上海)有限公司生产的自动宏观缺陷检测系统(FSD200u),具有快速,准确,可靠和低成本等优点,可用于工艺及产品质量检测,从而提高硅片制造的良率和品质。
FSD100e--专为LED市场开发生产的自动光学检测设备……
FSD100e是睿励微电子设备(上海)有限公司专为LED市场开发生产的自动光学检测设备(AOI),适用于蓝宝石衬底、图形衬底、外延片和芯片等各种工艺。该系统具有高分辨率、高速、高性价比的特点,并能根据检测结果进行自动分拣。既能为LED生产厂商提高生产效率,又可为进行全面良率管理提供数据。FSD100...